硅碳棒有良好的化学稳定性，抗酸能力强。在高温条件下碱性物质对其有侵蚀作用。 硅碳棒元件在1000℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发生如下作用： ①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O＝Sio2+4H2+CO2 致使元件中Sic2含量逐渐增多，电阻随之缓慢增加，为之老化。如水蒸气过多，会促进SiC氧化，由②式反应产生的H2与空气中的O2结合H2O再反应产生恶性循环。降低元件寿命。氢气(H2)能使元件机械强度降低。氮气(N2)在1200℃以下能防止SiC氧化1350℃以上与SiC发生反应，使SiC分解氯气(Cl2)能使Sic完全分解。
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