上海弘竣实业有限公司

电池片在扩散过程中如出现方块电阻均匀性不连续的现象，主要是由于以下几个问题造成的：

1. 炉管和舟没有饱和

2. 假片被污染

3.校准硅片不是最好的（可能被磨光）

4.石英件或硅片脏

5.沿着扩散炉通风

6.气流不足

具体的问题要通过分析排除法来找出具体原因，解决方案如下：

1.预先处理炉管和舟

2.使用新的假片

3.使用好的校准硅片，而不是磨光

4.清洗炉管、舟、隔热包块和匀流挡板

5.使用干净的硅片

6.通过关闭可能的通风孔减小通风或者减小洁净室的过压。

7.增加N2和干O2流量