上海弘竣实业有限公司

普通的石墨件在性能上面满足不了特殊行业的要求，因此我们推出带碳化硅涂层的石墨件，带碳化硅涂层的石墨件有以下几个主要特点：
耐高温抗氧化：抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。
纯度高：高温氯化条件下气相沉积出来,纯度高达99.99%。
耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细。
抗腐蚀性：耐酸、碱、盐及有机试剂。
主要参数：
碳化硅表面为β－碳化硅 ，属面心立方。
晶格常数α0.434nm
具有高纯度，和各项异性。
碳化硅涂层具有较高的热导率 80W/M•K
密度在 3.15－3.20g/cm2
热膨胀系数 4.8×10－6 ℃
主要应用
●　MOCVD设备中，GaN外延生长用的石墨基座涂层
●　单晶硅外延生长用的石墨基座涂层(平板基座、圆形基座、立体基座等)
●　单晶硅器件烧结炉用的石墨底盘涂层
●　石墨加热器上的表面涂层（平板加热器、圆形加热器、筒形加热器等等）
●　各种氧化物隧道窑中烧结用的石墨匣钵涂层
●　粉末冶金连续烧结用的石墨基座涂层